是巧合吗?
虽然5.9显然是远远不达标的,但严辉却似乎意识到了什么,有些惊讶地转头看向康驰。
“你……计算好的?”
“算是吧。”
康驰点了点头。
这下严辉彻底呆住了,
要知道,化学机械抛光的技术难点,除了抛光设备的硬件要达标之外,还要根据设备性能、硅片参数,来调配化学抛光液,以达到化学抛光和机械抛光的完美配合。
要想调试得好,首先就需要对设备了如指掌,其次这是丰富的抛光液调配经验。
但康驰仅仅只是通过一次实验演示,就能看似轻松地报出两组不同成分的抛光液,并在后续的实验中,达到同一数值的平整度……
这多少有点匪夷所思了吧?
哪怕是已经参与过无数次测试的严辉,在没有经过计算机模拟的情况下,也绝对做不到如此精准的控制,
估计误差至少得有个0.3nmRMS。
他有些难以置信地问道:“你到底是怎么做到的?”
“嗯,我也说不上来……可能是某种直觉吧,我这人对机械的东西,敏感度还挺高的。”
康驰思索了片刻,又接着说道,
“我估计伱这台抛光机,能稳定发挥的正常水平,应该就是3.0nmRMS左右,2.6nmRMS只是你们因为偶然因素才意外达到的,肯定不会超过三次。”
严辉再次愣了愣,显然是被康驰猜中了。
“确实,只有一次……”
康驰本来还想说点什么,结果肚子都已经饿得咕咕叫了,
看了看时间,发现三轮实验过后,竟然已经不知不觉都到了晚上八点。
“不好意思,一个没注意都这这么晚了……大家赶紧收拾收拾,先去吃饭吧,今天辛苦你们了。”
“嗯。”
严辉点了点头道,“那大家吃完饭,九点再回来继续。”
();() “回来继续?”
康驰不由露出了奇怪的表情,“继续干嘛?”
“做实验啊。”
“没用的,这根本不是抛光液的比例问题,你们这是在做无用功。”
康驰直接摇头道,“吃完饭早点回家洗洗睡吧,明天我们再过来把抛光机拆了,如果我没猜错的话,是你们的设备安装有问题。”
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